Roinnfidh comhairleoir teicniúil RSM leat na buntáistí a bhaineann le spriocanna sputtering maighnéadrón sorcóireach agus plánach?I gcomparáid le spriocanna sputtering maighnéadrón eile, coimeádann spriocanna sputtering maighnéadrón sorcóireach agus pleanr na buntáistí a bhaineann le dea-aonfhoirmeacht sciath na spriocanna dronuilleogacha plánacha, agus is féidir leo úsáid spriocanna a uasmhéadú tríd an dá bhealach seo a leanas:
(1) Nuair a shroicheann an dá ghrúpa (ceithre) de chlais annular ar dhromchla an sprioc doimhneacht áirithe, is féidir an croí sprice (cuid maighnéad) a rothlú 45 ° i gcoibhneas leis an spriocfheadán, ionas go mbeidh réimsí eile ar an spriocfheadán. is féidir nach bhfuil creimthe a úsáid;
(2) Nuair a dheartar croí sprioc an sprioc sputtering maighnéadron sorcóireach agus planar mar chroílár sputtering rothlach (tá an croí sprice ag rothlú le linn sputtering), is féidir dromchla an sprioc a sputtered go cothrom as ciseal ag ciseal gan claiseanna.Ag an am seo, is éifeachtaí an sprioc a úsáid, agus is féidir le ráta úsáide an sprioc 50% ~ 60% a bhaint amach Nuair a bhíonn an sprioc-ábhar miotail lómhara, is léir go bhfuil tábhacht mhór leis seo.
Trí úsáid a bhaint as prionsabal na maighnéad le bróg cuaille i sprioc sputtering magnetron sorcóireach coaxial chun an fhadhb a bhaineann le réimse maighnéadach deiridh a réiteach, is féidir sprioc an eitleáin dronuilleogach a chlaochlú i sprioc sputtering maighnéadrón sorcóireach agus planar, is féidir leis an sprioc ráta úsáide an sprioc a uasmhéadú. agus aonfhoirmeacht sciath maith an sprioc eitleáin dronuilleogach á choinneáil Chun sochair eacnamaíocha a fheabhsú.
Am postála: Jul-04-2022