Mar is eol dúinn go léir, is iad na modhanna a úsáidtear go coitianta i sciath bhfolús ná trasghalú bhfolús agus sputtering ian.Cad é an difríocht idir sciath trasghalaithe agus sciath sputtering Go leordaoine ceisteanna den sórt sin a bheith agat.Déanaimis an difríocht idir sciath trasghalaithe agus sciath sputtering a roinnt leat
Is éard atá i scannán trasghalaithe folúis ná na sonraí a théamh le trasghalú go teocht sheasta trí théamh friotaíochta nó bhíoma leictreon agus sliogáil léasair i dtimpeallacht le céim fholús nach lú ná 10-2Pa, ionas go mbeidh fuinneamh creathadh teirmeach na móilíní nó adaimh sna sonraí níos mó ná an fuinneamh ceangailteach an dromchla, ionas go mbeidh go leor móilíní nó adaimh trasghalú nó a mhéadú, agus iad a thaisceadh go díreach ar an tsubstráit chun foirm a scannán.Úsáideann sciath sputtering ian gluaiseacht athchuimhne ard na n-ian dearfach a ghintear trí urscaoileadh gáis faoi éifeacht an réimse leictrigh chun an sprioc a thumadh mar an chatóid, ionas go n-éalóidh na hadaimh nó na móilíní sa sprioc agus an taisceadh ar dhromchla an phíosa oibre plátáilte a fhoirmiú. an scannán is gá.
Is é an modh is coitianta a úsáidtear de sciath trasghalaithe bhfolús modh téimh friotaíochta.Is iad na buntáistí a bhaineann leis ná struchtúr simplí foinse téimh, ísealchostas agus oibriú áisiúil.Is iad na míbhuntáistí a bhaineann leis ná nach bhfuil sé oiriúnach do mhiotail teasfhulangacha agus do mheáin resistant teocht ard.Is féidir le téamh beam leictreon agus téamh léasair na míbhuntáistí a bhaineann le téamh friotaíochta a shárú.I téamh bhíoma leictreon, úsáidtear an bhíoma leictreon dírithe chun na sonraí sliogáin a théamh go díreach, agus déantar fuinneamh cinéiteach an bhíoma leictreon mar fhuinneamh teasa chun trasghalú na sonraí a dhéanamh.Úsáideann téamh léasair léasair ard-chumhachta mar an fhoinse téimh, ach mar gheall ar chostas ard léasair ard-chumhachta, ní féidir é a úsáid ach i líon beag saotharlanna taighde.
Tá scil sputtering difriúil ó scil trasghalaithe folúis.Tagraíonn sputtering don fheiniméan a ghearr na cáithníní bombard ar ais go dtí dromchla (sprioc) an chomhlachta, ionas go n-astú adaimh nó móilíní soladacha ón dromchla.Is adamh an chuid is mó de na cáithníní astaithe, ar a dtugtar go minic adaimh sputtered.Is féidir le cáithníní sputtered a úsáidtear le haghaidh sceallóga a bheith ina leictreoin, iain nó ina gcáithníní neodracha.Toisc gur furasta na hiain a fháil ar an bhfuinneamh cinéiteach riachtanach faoin réimse leictrigh, roghnaítear hiain mar cháithníní scealla den chuid is mó.
Tá an próiseas sputtering bunaithe ar urscaoileadh glow, is é sin, tagann na hiain sputtering as urscaoileadh gáis.Tá modhanna éagsúla urscaoilte glow ag scileanna sputtering éagsúla.Úsáideann sputtering dé-óid DC urscaoileadh glow DC;Is urscaoileadh glow é sputtering Triode le tacaíocht ó chatóid te;Úsáideann RF sputtering urscaoileadh glow RF;Is urscaoileadh glow é sputtering Magnetron arna rialú ag réimse maighnéadach annúil.
I gcomparáid le sciath trasghalaithe bhfolús, tá go leor buntáistí ag sciath sputtering.Más féidir aon substaint a sputtered, go háirithe eilimintí agus comhdhúile a bhfuil leáphointe ard agus brú íseal gaile acu;Tá an greamaitheacht idir an scannán sputtered agus an tsubstráit go maith;Dlús scannán ard;Is féidir tiús an scannáin a rialú agus tá an atrialltacht maith.Is é an míbhuntáiste go bhfuil an trealamh casta agus go bhfuil gá le feistí ardvoltais.
Ina theannta sin, is é an meascán de mhodh trasghalaithe agus modh sputtering ná plating ian.Is iad na buntáistí a bhaineann leis an modh seo ná greamaitheacht láidir idir an scannán agus an tsubstráit, ráta taisce ard agus dlús ard an scannáin.
Am postála: Bealtaine-09-2022