Ceanglais feidhmíochta maidir le hábhair sprice sa tionscal stórála optúla

Éilíonn an t-ábhar sprioc a úsáidtear sa tionscal stórála sonraí ard-íonacht, agus ní mór neamhíonachtaí agus pores a íoslaghdú chun giniúint cáithníní eisíontais le linn sputtering a sheachaint.Éilíonn an t-ábhar sprioc a úsáidtear le haghaidh táirgí ardchaighdeáin go gcaithfidh méid na gcáithníní criostail a bheith beag agus aonfhoirmeach, agus gan aon treoshuíomh criostail.Anseo thíos, déanaimis féachaint ar riachtanais an tionscail stórála optúla don ábhar sprice?

1. Íonachta

In iarratais phraiticiúla, athraíonn íonacht na sprioc-ábhar de réir tionscail agus riachtanais éagsúla.Mar sin féin, ar an iomlán, dá airde an íonacht an sprioc-ábhar, is amhlaidh is fearr ar fheidhmíocht an scannáin sputtered.Mar shampla, sa tionscal stórála optúla, is gá go mbeadh íonacht an sprioc-ábhar níos mó ná 3N5 nó 4N

2. Ábhar eisíontais

Feidhmíonn an spriocábhar mar fhoinse catóide i sputtering, agus is iad neamhíonachtaí sa soladach agus gal ocsaigine agus uisce sna pores na príomhfhoinsí truaillithe chun scannáin tanaí a thaisceadh.Ina theannta sin, tá ceanglais speisialta ann maidir le spriocanna úsáidí éagsúla.Ag glacadh leis an tionscal stórála optúil mar shampla, ní mór an t-ábhar eisíontais i spriocanna sputtering a rialú an-íseal chun cáilíocht an sciath a chinntiú.

3. Méid gráin agus dáileadh méid

De ghnáth, tá struchtúr polycrystalline ag an sprioc-ábhar, agus tá méideanna gráin ag dul ó mhicriméadar go milliméadar.I gcás spriocanna a bhfuil an comhdhéanamh céanna acu, tá ráta sputtering na spriocanna gránghráin níos tapúla ná mar a bhíonn i spriocanna garbhghráin.Maidir le spriocanna le difríochtaí méid gráin níos lú, beidh tiús an scannáin taiscthe níos comhionann freisin.

4. Dlúth

D'fhonn porosity an sprioc-ábhar soladach a laghdú agus feidhmíocht scannáin a fheabhsú, ceanglaítear go ginearálta go bhfuil dlús ard ag an ábhar sputtering sprioc.Braitheann dlús an ábhair sprice go príomha ar an bpróiseas ullmhúcháin.Is féidir leis an spriocábhar a mhonaraítear trí mhodh leá agus réitigh a chinntiú nach bhfuil aon phiocháin taobh istigh den spriocábhar agus go bhfuil an dlús an-ard.