Tagraíonn sciath folúis do théamh agus galú an fhoinse galú i bhfolús nó sputtering le bombardú ian luathaithe, agus é a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit chun foirm aon-ciseal nó scannán ilchiseal.Cad é prionsabal na sciath bhfolús?Ansin, cuirfidh eagarthóir RSM é in aithne dúinn.
1. Sciath galú folúis
Éilíonn sciath galú gur chóir go mbeadh an fad idir na móilíní gaile nó na hadaimh ón bhfoinse galú agus an tsubstráit atá le brataithe níos lú ná meánchosán saor in aisce na móilíní gáis iarmharacha sa seomra sciath, ionas go gcinnteofar go bhfuil na móilíní gaile den. is féidir le galú dromchla an tsubstráit a bhaint amach gan imbhualadh.Cinntigh go bhfuil an scannán íon agus daingean, agus ní ocsaídeoidh an galú.
2. Sciath sputtering bhfolús
I bhfolús, nuair a imbhuaileann na hiain luathaithe leis an soladach, ar thaobh amháin, déantar damáiste don chriostail, ar an láimh eile, imbhuaileann siad leis na hadaimh a dhéanann suas an criostail, agus ar deireadh na hadaimh nó na móilíní ar dhromchla an soladach. sputter amach.Tá an t-ábhar sputtered plátáilte ar an tsubstráit chun scannán tanaí a fhoirmiú, ar a dtugtar plating sputter i bhfolús.Tá go leor modhanna sputtering ann, ina measc is é sputtering dé-óid an ceann is luaithe.De réir spriocanna catóide éagsúla, is féidir é a roinnt ina sruth díreach (DC) agus minicíocht ard (RF).Tugtar ráta sputtering ar líon na n-adamh a sputtered trí thionchar an spriocdhromchla le hian.Le ráta sputtering ard, tá an luas foirmiú scannáin tapa.Baineann an ráta sputtering le fuinneamh agus cineál na n-ian agus an cineál ábhar sprice.Go ginearálta, méadaíonn an ráta sputtering le méadú ar fhuinneamh ian daonna, agus tá ráta sputtering miotail lómhara níos airde.
Am postála: Jul-14-2022