Úsáidtear spriocábhair Niobium go príomha i sciath optúil, sciath ábhar innealtóireachta dromchla, agus tionscail sciath cosúil le friotaíocht teasa, friotaíocht creimeadh, agus seoltacht ard.I réimse na sciath optúla, cuirtear i bhfeidhm go príomha i dtáirgí optúla oftalmacha, lionsaí, optaic bheachtais, sciath limistéar mór, sciath 3D, agus gnéithe eile.
Tugtar sprioc lom ar an spriocábhar niobium de ghnáth.Déantar é a tháthú ar dtús leis an sprioc ais copair, agus ansin é a sputtered chun adaimh niobium a thaisceadh i bhfoirm ocsaídí ar ábhar an tsubstráit, ag baint amach sciath sputtering.Le doimhniú agus leathnú leanúnach na teicneolaíochta sprioc niobium agus cur i bhfeidhm, tá méadú tagtha ar na ceanglais maidir le haonfhoirmeacht micreastruchtúr sprioc niobium, a léirítear go príomha i dtrí ghné: mionchoigeartú gráin, gan aon treoshuíomh uigeachta soiléir, agus íonacht cheimiceach feabhsaithe.
Tá dáileadh aonfhoirmeach na micristruchtúr agus na n-airíonna ar fud na sprice ríthábhachtach chun feidhmíocht sputtering na n-ábhar niobium a chinntiú.Is gnách go dtaispeánann dromchla na spriocanna niobium a fhaightear i dtáirgeadh tionsclaíoch patrúin rialta, rud a chuireann isteach go mór ar fheidhmíocht sputtering na spriocanna.Conas is féidir linn ráta úsáide na spriocanna a fheabhsú?
Trí thaighde, fuarthas amach go bhfuil ábhar eisíontais (sprioc íonachta) ina fhachtóir tábhachtach a dhéanann difear don íonacht.Tá comhdhéanamh ceimiceach na n-amhábhar míchothrom, agus saibhrítear neamhíonachtaí.Tar éis próiseáil rollta níos déanaí, déantar patrúin rialta a fhoirmiú ar dhromchla an sprioc-ábhar niobium;Is féidir le deireadh a chur le dáileadh míchothrom na gcomhpháirteanna amhábhar agus saibhriú eisíontais foirmiú patrúin rialta ar dhromchla spriocanna niobium a sheachaint.Is féidir le tionchar méid gráin agus comhdhéanamh struchtúrach ar an spriocábhar a bheith beagnach neamhbhríoch.
Am postála: Meitheamh-19-2023