Maidir le cur i bhfeidhm agus prionsabal na teicneolaíochta sputtering sputtering, tá roinnt custaiméirí tar éis dul i gcomhairle le RSM, anois le haghaidh an fhadhb seo a bhfuil níos mó imní orthu , roinnt saineolaithe teicniúla roinnt eolais a bhaineann go sonrach.
Feidhmchlár sputtering:
Déanann cáithníní luchtaithe (cosúil le hiain argóin) dromchla soladach a thumadh, rud a fhágann go n-éalaíonn cáithníní dromchla, mar adaimh, móilíní nó cuachta, ó dhromchla an fheiniméan réada ar a dtugtar “sputtering”.I sciath sputtering magnetron, is gnách go n-úsáidtear na hiain dhearfacha a ghineann ianú argón chun an soladach (sprioc) a thumadh, agus déantar na hadaimh neodracha sputtered a thaisceadh ar an tsubstráit (píosa oibre) chun ciseal scannáin a fhoirmiú.Tá dhá shaintréith ag sciath sputtering Magnetron: "teocht íseal" agus "tapa".
Prionsabal sputtering Magnetron:
Cuirtear réimse maighnéadach orthogonal agus réimse leictreach idir an sprioc-cuaille sputtered (catóide) agus an anóid, agus líontar an gás támh riachtanach (gás Ar de ghnáth) sa seomra ardfholús.Cruthaíonn an maighnéad buan réimse maighnéadach 250-350 Gauss ar dhromchla an ábhair sprice, agus cruthaíonn sé réimse leictreamaighnéadach orthogonal leis an réimse leictreach ardvoltais.
Faoi ghníomh an réimse leictrigh, déantar gás Ar a ianú ina hiain dhearfacha agus leictreoin, agus tá brú ard diúltach áirithe ar an sprioc, agus mar sin bíonn tionchar ag an réimse maighnéadach agus ag an dóchúlacht ianaithe oibre ar na leictreoin a astaítear as an spriocpholl. méaduithe gáis.Déantar plasma ard-dlúis a fhoirmiú in aice leis an gcatóid, agus luasghéaraíonn ions Ar go dtí an spriocdhromchla faoi ghníomhaíocht fórsa Lorentz agus bombardaíonn siad an spriocdhromchla ag luas ard, ionas go n-éalaíonn na hadaimh sputtered ar an sprioc ón spriocdhromchla ard. fuinneamh cinéiteach agus eitilt go dtí an tsubstráit chun scannán a fhoirmiú de réir phrionsabal an chomhshó móiminteam.
Roinntear sputtering Magnetron go ginearálta ina dhá chineál: sputtering DC agus sputtering RF.Tá prionsabal an trealaimh sputtering DC simplí, agus tá an ráta tapa nuair a bhíonn miotail á sputtering.Tá úsáid sputtering RF níos fairsinge, chomh maith le sputtering ábhair seoltacha, ach freisin sputtering ábhair neamhsheoltach, ach freisin ullmhú sputtering imoibríoch ocsaídí, nítrídí agus cairbídí agus ábhair chumaisc eile.Má mhéadaíonn minicíocht RF, bíonn sé ag sputtering plasma micreathonn.Faoi láthair, úsáidtear sputtering plasma micreathonn de chineál athshondais leictreoin (ECR) go coitianta.
Am poist: Lúnasa-01-2022