Tá go leor feidhmeanna agus feidhmeanna leathan ag an sprioc i go leor réimsí.Úsáideann an trealamh sputtering nua beagnach maighnéid chumhachtacha chun na leictreoin a bíseach chun ianú argón timpeall an sprice a luathú, rud a mhéadaíonn an dóchúlacht go dtarlóidh imbhualadh idir na hiain sprice agus na hiain argóin,
Méadú ar an ráta sputtering.Go ginearálta, úsáidtear sputtering DC le haghaidh sciath miotail, agus úsáidtear sputtering cumarsáide RF le haghaidh ábhair mhaighnéadacha ceirmeacha neamh-seoltaí.Is é an bunphrionsabal ná urscaoileadh glow a úsáid chun hiain Argón (AR) a bhualadh ar dhromchla an sprice i bhfolús, agus luasóidh na cations sa plasma chun Rush go dtí an dromchla leictreoid diúltach mar an t-ábhar splashed.Cuirfidh an tionchar seo ar ábhar an sprice eitilt amach agus taisceadh ar an tsubstráit chun scannán a dhéanamh.
Go ginearálta, tá roinnt gnéithe de sciath scannán ag baint úsáide as an bpróiseas sputtering:
(1) Is féidir miotail, cóimhiotail nó inslitheoir a dhéanamh i sonraí scannáin tanaí.
(2) Faoi choinníollacha socraithe cuí, is féidir an scannán leis an gcomhdhéanamh céanna a dhéanamh ó spriocanna iolracha agus neamhord.
(3) Is féidir an meascán nó cumaisc de sprioc-ábhar agus móilíní gáis a dhéanamh trí ocsaigin nó gáis gníomhacha eile a chur leis san atmaisféar scaoilte.
(4) Is féidir an sruth ionchuir sprioc agus an t-am sputtering a rialú, agus tá sé éasca tiús scannáin ardchruinneas a fháil.
(5) Tá sé tairbheach do tháirgeadh scannáin eile.
(6) Is ar éigean a bhíonn tionchar ag na cáithníní sputtered ar dhomhantarraingt, agus is féidir an sprioc agus an tsubstráit a eagrú go saor.
Am postála: Bealtaine-24-2022